我国微电子领域泰斗吴德馨院士逝世
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我国半导体与集成电路学科奠基人之一、中科院院士吴德馨，于 2026 年 3 月 23 日在北京逝世，享年 90 岁。
她深耕微电子领域 65 载，突破多项 “卡脖子” 工艺与器件技术，牵头搭建国产集成电路研发体系，为我国芯片自主可控、产学研人才培育奠定关键基石。
吴德馨，我国杰出微电子科学家，中国科学院院士，中国科学院微电子研究所研究员、原中国科学院微电子中心主任，第九届、第十届全国人大常委会委员。
1936 年生于河北乐亭，1961 年毕业于清华大学无线电电子工程系，同年进入中国科学院从事科研工作，1991 年当选中国科学院学部委员（院士）。她一生扎根科研一线，跨越我国微电子产业从无到有、从小到大的完整历程，是国内最早投身半导体器件与集成电路研发的开拓者之一，终身践行自主创新初心，深耕工艺攻关、器件研发、平台建设与人才培养四大核心领域。
作为技术带头人，吴德馨长期聚焦关键核心技术突围，破解国外技术垄断与禁运难题。20 世纪 60 年代初，她牵头在国内率先研制成功硅平面型高速开关晶体管，提出的提速优化方案被行业广泛推广，为 “两弹一星” 配套计算机提供核心器件支撑，筑牢国防电子技术根基。60 年代末，她攻克系列关键难题，成功研发介质隔离数字集成电路与高阻抗运算放大器模拟电路，补齐我国早期通用电路短板。
70 年代末，她带队突破存储芯片关键技术，研制成功 MOS 4K 位动态随机存储器；同时率先将正性胶光刻、干法刻蚀等先进微细加工技术引入国内大规模集成电路研发，系统性攻克工艺成品率低的行业痛点，大幅提升国产芯片量产可行性。后续她持续深耕先进制程，独立自主研发全套 0.8 微米 CMOS 工艺技术，牵头完成 “先进的深亚微米工艺技术及新型器件” 项目，斩获北京市科学技术一等奖；晚年仍深耕光电器件领域，研发出 10Gbps 高速光发射模块，助力高速通信芯片国产化迭代。
1986 年起，吴德馨调任中国科学院微电子中心，先后担任副主任、主任（1991-1997 年）。任职期间，她临危统筹学科布局与资源整合，锚定 “自主可控、产学研协同” 方向，完善从工艺研发、器件设计到测试验证的全链条科研体系，推动微电子中心成为我国集成电路关键技术攻关、成果转化的核心国家队平台，为后续国产替代进程积蓄关键技术与平台势能。
六十余载科研生涯，吴德馨治学严谨、精益求精，常强调芯片工艺 “差一微米便全盘作废”，以极致较真的科研态度深耕每一项技术细节。她不仅潜心技术攻关，更倾力培育后备人才，言传身教传承自主创新精神，培养大批覆盖器件、工艺、集成设计的微电子专业骨干，多数深耕国产芯片一线，接力助力半导体产业突围。
她曾当选第九届、第十届全国人大常委会委员，积极建言我国科技自立自强与微电子产业规划，终身心系国产芯片发展，即便耄耋之年仍关注前沿研发，为学科进步奔走献策。
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